辉光放电质谱仪GD-MS是Thermo Fisher公司研发生产的高纯无机材料纯度以及痕量杂质检测仪器，是当今Zui前沿的分析设备之一。其重新定义了高纯固体元素直接分析的新方法，可获得亚ppb级的检出限，已成为常规测试和研究型应用中整体金属分析和深度曲线测试便捷高效的检测工具，其检测除H/C/N/O、惰性气体、人造元素等以外的74种常见元素，如下蓝色区域元素
检测基本原理：低气压气体会产生辉光放电，样品在实际测试时充当阴极，其表面被气体离子撞击溅射并发生原子电离，离子直接进入质量分析器，将不同质荷比的离子分离并进行分析。