工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，净化手术室设计，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
电子洁净车间建设注意点：首先，便是净化厂房的隔断、顶板、墙面的彩钢板板材的选用，一般采用50mm厚的夹芯彩钢板较为适应，不仅美观，而且刚性强。在地坪选材方面，一般电子车间厂房选用静电的环氧树脂或者PVC地坪较多。在送风口的选择上，一般在要求较高的洁净室中，可以选择液槽送风口，在冲孔网板可以选择采用烤漆铝板，这样不容易积尘，不易生锈，而且清洁起来更加方便。其次是电子车间的人员净化，在洁净室的入口应当设有风淋室，单人风淋室应按1大班人数的30人设一台，风淋室的进、出门不得同时开启，应当选用联锁控制措施。如果是洁净室内的设备与物料出入口，应当独立设置，并且同样应当设立货淋室。
无尘车间净化原理：
洁净度的实现是通过空调机回风口处的初效过滤器，及末端的FFU过滤送风单元两级过滤，足够的换气次数来实现的，新风采用二级过滤后送入车间。另外为保证洁净室不被外界污染，无尘车间要维护一定的正压，其相对非净化区的静压差≥10Pa，正压是通过控制新风的供给量来保证的。
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