十万级净化车间标准十万级净化车间标准一：细颗粒物较大容许数≥0.5μm的粒子数不超过350万只，≥5μm的粒子数不超过2万只。十万级净化车间标准二：微生物菌1种较大容许数，落菌数不超过500个/m；地基沉降菌数不超过10个/培养液。十万级净化车间标准三：压差。同样清洁级别的洁净室压差保持一致，针对不一样清洁级别的邻近洁净室中间压差要≥5Pa，洁净室和非洁净室中间要≥10Pa（关键是以便确保气体从清洁区流入非清洁区，防止气旋倒流）。
洁净室的分类方法许多，但很多的分类方法是按洁净室的应用特性和洁净室的气流流型来分。1.按洁净室的应用特性区划为：①工业生产洁净室。比如电子工业、中国机械、化工厂工业生产等用的洁净室。②微生物洁净室。比如生物医1药、食品类、动物实验喂养，清洁手术室等。③微生物安全实验室。科学研究不微生物菌1种的洁净室。2.按洁净室的气流流型区划为：①单向流洁净室(竖直单向流和水准单向流)。②非单向流洁净室③混和流洁净室(即单向流和非单向流组成气流组成的洁净室。④矢流洁净室(放1射性流、顶角流)。
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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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