SSP3310LED外延片RC测试仪
实现功能：该系统主要为外延片生产过程中电参数异常监控而设计 ，配有微调的探针平台和高清的电子显微镜 ，可以方便准确的点亮外延片，探针采用有弹性的钨钢针不易划伤外延片，钨钢材料不易氧化造成接触电阻过大。能够方便准确的得出外延片的电性能参数。
主要技术指标
功率输出： | ||||||
电流输出范围 | 0～3A | |||||
电压输出范围 | 0～30V | |||||
电压输出 | ||||||
电源效应 | ≤0.01%+3mV | |||||
负载效应 | ≤0.01%+3mV(I≤3A)/≤0.01%+5mV(I>3A) | |||||
恢复时间 | ≤100us(50% loadchange,minimum load 0.5A) | |||||
涟波和噪声 | ≤1mVrms(I≤3A)(5Hz~1MHz)/≤2mV rms(I>3A)(5Hz~1MHz) | |||||
温度系数 | ≤100ppm/℃ | |||||
设定精度 | ±(0.03% of reading +10mV)(25±5℃) | |||||
设定分辨率 | 1mV | |||||
电流输出 | ≤0.01%+3mA | ≤0.01%+3mA(I≤3A)/≤0.01%+5mA(I>3A) | ≤3mA rms(I≤3A)/≤6mArms(I>3A) | ±(0.1% of reading +0.1% of FS)(25±5℃) | 0.1mA(10A以上分辨率1mA) | |
显微镜指标 | ||||||
像素 | 1200万像素 | |||||
对焦距离 | 5cm-15cm | |||||
帧频 | 30f/s(600lus亮度下) | |||||
显示屏尺寸 | 5英寸 | |||||
三维平台指标 | ||||||
XY行程 | 6.5mm | |||||
Z行程 | 10 mm | |||||
Zui小刻度 | 0.01mm | |||||
平行度 | 0.04mm | |||||
适用外延片规格 | ||||||
外延片规格 | 2/4寸片蓝绿 | |||||
技术要求 | 已经做好测试电极 | |||||
