洁净室,亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
据标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规矩:在对净化车间进行洁净度查看时,查看点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间隔为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安顿在净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安顿5个测点。
后、对于等动力采样的疑问;所谓等动力采样就是在查看时,粒子的计数器的采样管的进口方向与被采样的单向气流方向相一致,并且空气进入取样管进口的平均速度与该方位单向气流的平均速度一样。由于对净化工程的查看首要关怀两种粒径,即0.5um和5um。非等动力采样对于≤0.5um的粒子影响不大。假设取样空气用于核算大于或等于0.5um的粒径浓度,假设这些粒子不受非等动力条件的影响,则核算成果也不受影响。
净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。