如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。
20W机型可发生275.4至1090.0nm的一些激光光。主要的可见光波长分别是514.5、501.7、496.5、488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。蓝绿光波段中，而的是514.5及488nm。氪离子激光可发生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次为413.1及530.9nm。产品中，有将氩气与氪气混合的机型。CO2激光辅助鼓膜成形术的总体满意，与传统手术相比，该手术方式具有操作简便、创伤小、且可重复进行的优点。金属蒸汽离子激光中，氦镉(He-Cd)激光是的，激光混合气体定制，氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。氦镉激光的325nm紫外线，和441.6 nm蓝光，激光混合气批发，是常见的输出。加上特殊设计时，它可同时发生红光(635.6及636.0nm)和绿光(533.7及537.8nm)。它的短波长成分，激光混合气体价格，在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出，几乎能够发生一切可见光的颜色，因此它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高，使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。
近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF，KrF， XeF， KrCl，XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，杭州激光混合气，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。
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